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! 영상링크
https://www.youtube.com/watch?v=EuTLgefX5Pg&list=PLqpgv5OuV7fplk9aBbECauz1YLLVymqHh&index=19
! 내용요약
펠리클이 투과율이 낮아서 파티클을 제거하는 장비도 같이간다
EUV 가 커지면 펠리클 시장도 커진다
탐침의 시료접촉 없어서 독보적
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